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| 年度 | 107 |
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| 專利名稱 | 共光程螺旋相位數位全像系統及其方法 |
| 專利國別 | 中華民國 |
| 發明人 | 鄭超仁 |
| 共同發明人 | 杜翰艷、蕭瑋仁、賴信吉 |
| 核准證號 | I645269 |
| 屬性 | 本校 |
| 研發單位 | 光電工程研究所 |
| 專利簡介 | 本發明係關於一種共光程螺旋相位數位全像方法，其包括下列步驟順序：(a)將一發射光源入射至一待測物體(50)形成一物體光波( )；(b)該物體光波( )經共光程螺旋相位光學裝置(20)之一透鏡(220)作光學傅立葉轉換後產生一物體空間頻譜，並藉由螺旋相位產生器(210)以分別形成，外圍為高頻繞射項之一經編碼的物體頻譜( )，及在中心為低頻直流項之一具孔徑參考光波的頻譜( )，經該共光程螺旋相位光學裝置(20)之另一透鏡(221)作光學反傅立葉轉換後達成干涉作用，形成一第一螺旋相位全像影像；(c)重複藉由該螺旋相位產生器(210)將該經編碼的物體頻譜( )作複數次相位移後，形成複數個相位移的螺旋相位全像影像；(d)將該第一螺旋相位全像影像及該複數個相位移的螺旋相位全像影像，藉由一影像裝置(30)擷取並經影像重建演算法後，形成一第一重建物體影像( )；及(e)藉由旋轉一光束轉折器(120)，使另一角度之該發射光源傾斜入射至該物體(50)形成另一角度的物體光波( )，重複上述步驟(b)、(c)及(d)後，形成另一角度的重建物體影像( )，接著將該第一重建物體影像與該另一角度的重建物體影像經過數值傅立葉轉換後將二者頻譜作疊加，再透過數值反傅立葉轉換形成一合成孔徑的重建物體影像( )。本發明又關於一種結合合成孔徑成像方式的共光程螺旋相位數位全像系統。藉由本發明之系統及方法，可降低數位全像裝置對於環境振動的影響，並可提升重建物體影像的空間解析度及相位準確度。 |
| 專利期限 | 2037-05-01 |
| 技術領域 | 光電工程 |
| 適用產業別 |
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| 技術應用方式與預期產品說明 | 光學元件，如：透明玻璃基板瑕疵檢測、微透鏡陣列的高度檢測、積體電路的膠合平整度檢測、光電元件的瑕疵、油汙、刮痕、裂紋檢測、以及矽基板的孔洞檢測。 積體電路與半導體組件，如：元件線寬、線高、球徑、三維表面形貌、階高標準片、製程疊對、斷差高度、斜率、體積、表面積、振動模態。 微光學元件，如：表面瑕疵檢測、表面粗糙度、表面輪廓、薄膜厚度與平整度、曲率半徑、波前量測、像差分析、折射率分佈。 生醫細胞影像，如：細胞生物學、神經細胞觀測、細胞體積、細胞形態、生物感測器、生物晶片、活體生物細胞檢測與分析、藥物開發與篩檢 手機與面板，如：三維表面形貌、應力與形變、手機鏡頭、瑕疵檢測、油漬、指紋、裂痕、點膠、錫膏、塗布、平整度、粗糙度、拋光。 |
| 關鍵字1 | 數位全像 |
| 關鍵字2 | 共光程 |
