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| 年度 | 107 |
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| 專利名稱 | 透明基板之瑕疵檢測方法與裝置 |
| 專利國別 | 中華民國、美國 |
| 發明人 | 鄭超仁 |
| 共同發明人 | 劉晉宇、賴信吉 |
| 核准證號 | I644098、US10,976,152B2 |
| 屬性 | 本校 |
| 研發單位 | 光電工程研究所 |
| 專利簡介 | 一種透明基板之瑕疵檢測方法，包括：(a)提供一光學系統，以將經過待測透明基板產生之物體光波進行繞射；(b)將該物體繞射光波與參考光波干涉與波前記錄，以重建待測透明基板之瑕疵複數影像；(c)將該待測透明基板的瑕疵複數影像進行特性分析、特徵分類與篩選；以及(d)將該瑕疵複數影像建立瑕疵複數影像資料庫，以作為該待測透明基板之瑕疵複數影像比對與檢測。 |
| 專利期限 | 2037-08-03 |
| 技術領域 | 光電工程 |
| 適用產業別 |
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| 技術應用方式與預期產品說明 | 光學元件，如：透明玻璃基板瑕疵檢測、微透鏡陣列的高度檢測、積體電路的膠合平整度檢測、光電元件的瑕疵、油汙、刮痕、裂紋檢測、以及矽基板的孔洞檢測。 積體電路與半導體組件，如：元件線寬、線高、球徑、三維表面形貌、階高標準片、製程疊對、斷差高度、斜率、體積、表面積、振動模態。 微光學元件，如：表面瑕疵檢測、表面粗糙度、表面輪廓、薄膜厚度與平整度、曲率半徑、波前量測、像差分析、折射率分佈。 生醫細胞影像，如：細胞生物學、神經細胞觀測、細胞體積、細胞形態、生物感測器、生物晶片、活體生物細胞檢測與分析、藥物開發與篩檢 手機與面板，如：三維表面形貌、應力與形變、手機鏡頭、瑕疵檢測、油漬、指紋、裂痕、點膠、錫膏、塗布、平整度、粗糙度、拋光。 |
| 關鍵字1 | 透明基板 |
| 關鍵字2 | 瑕疵檢測 |
